高精度Roll To Roll 發(fā)收料機(jī)
內(nèi)置萬(wàn)級(jí)FFU,應(yīng)用于半導(dǎo)體卷膜料加工流程。
發(fā)料段:
內(nèi)置接膜平臺(tái),由主料膜卷軸、引導(dǎo)膜料卷軸、撕背膜料卷軸組成,集成自動(dòng)糾偏系統(tǒng)(糾偏精度0.1mm)、張力控制系統(tǒng)(0—10kg)以及精度電機(jī),可控制卷膜的高精度運(yùn)轉(zhuǎn)。
收料段:
由主料膜軸、貼背膜卷軸組成,集成自動(dòng)糾偏系統(tǒng)(糾偏精度0.1mm)、張力控制系統(tǒng)(0—10kg)